EM-CCD (Electron Multiplying CCD) イメージセンサ

電子増倍型 (Electron Multiplying) CCD (以降EM-CCD) は、フレームトランスファCCDと同様の構造をしていますが、水平レジスタと出力アンプの間に特殊な増倍レジスタを備えています。EM-CCDは、入射する光子にさらされる画素 (検出領域) と、光子が検出されないように全体がマスクされた領域 (記憶領域) の2つに分離されています。検出領域の信号は記憶領域に転送され、インパクトイオン化と呼ばれる処理によって増倍レジスタで増倍されます。

EM-CCDの利点は、CCD内の信号電荷が増倍レジスタで増倍されることです。これにより、超低信号をカメラのノイズ以上のレベルまで引き上げることで、信号を検出することができるようになります。

EM-CCDチップは、暗電流ノイズを低減し、電子増倍率を高めるために、厳重に冷却されます。この冷却性能を高めるため、光電子増倍管で培った浜松ホトニクスの真空管技術を応用し、真空密閉型チャンバー内にチップを搭載しています。

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