CCDイメージセンサ

CCDセンサには3つの種類があります。一つ目はインターライントランスファCCD (IL-CCD)、二つ目はフルフレームトランスファCCD (FFT-CCD)、三つ目はフレームトランスファCCD (FT-CCD) です。浜松ホトニクスではIL-CCDとFFT-CCDを提供しており、浜松ホトニクス製冷却CCDカメラではインターライン転送型CCDが最も多く使われています。(現在はすべてのCCDカメラの販売を終了しました。)

CCDカメラの種類

インターライントランスファCCDは、撮像用フォトダイオードとシールド付き垂直電荷転送レジスタからなる垂直方向に対になった列を持ちます。各画素は受光部と遮蔽部に分かれているため、受光面積は限られています。しかし、浜松ホトニクスの一部のカメラに採用されているER-150インターライン転送型CCDは、オンチップレンズが内蔵されているため、より多くの光子を集めることができます。これにより、感度が向上し、波長によっては量子効率が70%に達することもあります。

インターライントランスファCCDの利点は、信号の蓄積 (露光) と読み出しを同時に行うことができることです。また、このタイプのCCDでは、スミアが発生しないことに加え、暗電流ノイズを低減するために冷却されています。冷却型CCDカメラでは、冷却性能を高めるために、光電子増倍管で培った浜松真空管技術を応用した真空密閉型チャンバー内にチップを搭載しています。

オンチップマイクロレンズ

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